探索使用GHz-burst模式的飞秒激光在玻璃上微孔钻孔的新方法

法国波尔多大学强激光与应用研究所(CELIA)激光与物质相互作用研究组探索了一种使用GHz-burst模式的飞秒激光进行玻璃微孔钻孔的新方法。

发表在《国际极限制造杂志》上的研究团队使用Amplitude在GHz突发状态下运行的飞秒激光器研究了一种新的玻璃微加工方法，该方法允许钻出无锥度的细长孔，内壁光滑，没有任何裂纹在玻璃杯中。通常，使用标准单飞秒脉冲的激光钻孔会产生长度非常有限且内表面粗糙的锥形孔。

这种新的激光与物质相互作用机制可以在一个步骤中直接钻出高纵横比的孔，而无需任何化学蚀刻。事实证明，为了实现加工结构的出色微加工质量，激光脉冲串参数的选择非常重要。飞秒激光GHz-burst模式可以为新应用铺平道路，例如微电子，在这些应用中，硅中介层可能会被玻璃中介层取代。